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热诱导化学气相沉积是用于各种电介质,半导体和金属材料的保护涂层的沉积的有力方式,无论是单晶,多晶,无定形或外延状态上或大或小的形态。典型的涂层材料包括热解碳,碳化硅,氮化硼。通过使用合成前体,涂层非常纯净并目满足半导体工业的典型要求,根据工艺参数,可以有多种层厚度,从单个或几个原子层到厚度从10纳米到数百微米的固体保护层或功能层,以及厚度达100微米的单片部件,甚至高达数毫米。
真空扩散焊炉是在真空(或其它气氛)条件下将材料内原子扩散焊成型的成套设备,主要采用钼带电阻加热,扩散焊焊接应用广泛,可以完成不同种类金属材料与金属材料之间的扩散焊接、也可以完成不同种类金属材料与陶瓷类材料、非金属类材料之间的扩散焊接。
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