简要描述:1. 设备采用压力机与加热室构成一体式扩散焊炉,压力供给系统配装进口压力传感器,压力控制精度高,配装位移10μm高精度位移传感器,位移控制准确,独立的补压控制系统,确保扩散泵恒定压力准确; 2. 专业的动密封结构,确保设备压力传递杆在有效位移过程中长期使用无泄漏; 3. 上/下压头(或称:上/下压板、热压平台)选用TZM合金材料; 4. 上/下压头平面度控制在±5μm内; 5. 压头方便安装和拆卸性,也可不必加压作为单独的钎焊炉使用,以便需方在设备使用时具备多样性; 6. 设备配备2bar-10bar气体压力下外循环快速冷却系统,保证工件热压完毕快速冷却,高效运行。 二、 产品/行业应用 1. 模具 2. 医疗 3. 换热器(PCHE) 4. 半导体 5. 冷却板 6. 航空航天 7. 造船 三、 材料应用 1. 铝镁合金 2. 钛合金 3. 不锈钢陶瓷 4. 铜 5. 非金属材料 四、 特性/优点 1. 有效体积可按客户要求设计 2. 最高工作温度2300℃ 3. 可控硅控制器使加热元件的功效得到优化 4. 简单安全的工艺操作过程 5. 多压杆结构设计,压力分布更均匀 6. 多压力传感器设计,有效测量工艺压力 7. 极限真空度 好于5 x 10-6 mbar 8. 加热过程的全自动控制 9. 有效均温区温度均匀性好于+/-5℃ 10. 出色的节能效果,漏率低于10-4mbar l/s 11. 压板和所有的加压部件可以更换,高度可调 12. 压板材质是TZM(钛锆钼)合金或者CFC高强碳碳复合纤维 13. 较短的抽真空和工艺时间 14. 通过计算机引导工艺菜单,并能够记录数据和存储数据 五、 选项功能: 1. 强制快速冷却系统 2. AMS2750E/SAT 3. 气体分压功能 4. 氢气洗炉功能 5. 扩散焊工艺支持
参数\型号 |
DB-223 |
DB-446 |
DB-556 |
DB-666 |
DB-767 |
DB-868 |
DB-969 |
DB-10610 |
有效热区W×H×L(mm) |
200×200×300 |
400×400×600 |
500×500×600 |
600×600×600 |
700×600×700 |
800×600×800 |
900×600×900 |
1000×600×1000 |
最高温度(℃) |
1300 |
1300 |
1300 |
1300 |
1300 |
1300 |
1300 |
1300 |
压力吨位(T) |
30~300 |
30~300 |
50~500 |
50~500 |
200~1000 |
200~1000 |
200~1000 |
200~1000 |
温度均匀性(℃) |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
真空度(Pa) |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
6.7×10-4 |
压升率(Pa/h) |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
压头数量 |
单/双 |
单/双 |
单/双 |
单/双 |
单/双/四 |
单/双/四 |
单/双/四 |
单/双/四 |
上下压头平行度(mm) |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
压力精度 |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
≤±0.5% |
位移精度(mm) |
H±0.05 |
H±0.05 |
H±0.05 |
H±0.05 |
H±0.05 |
H±0.05 |
H±0.05 |
H±0.05 |
气冷压力(bar) |
2~10 |
2~10 |
2~10 |
2~10 |
2~10 |
2~10 |
2~10 |
2~10 |
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