分析真空炉主要由六大系统组成

真空炉整体可大致分为六大组成部分为：炉体、加热室、充放气系统、水冷系统、控制系统和真空系统。

炉体主要包括炉壳和传送装置。炉壳钢板的选择主要是根据炉体承受的压强来决定的，压力越高就要选择相对较厚的钢板；传送装置可分为立式的丝杆传送和卧式的链条传送。

加热室包括保温屏、加热元件、水冷电极、连接板、支架杆、紧压螺母、炉床、炉床支柱、导电杆、导电杆接头等。保温屏一般分为金属和石墨两大类。不充气的情况下石墨保温屏采用软毡的形式；充气的情况下保温屏要采用复合硬毡。金属类保温屏在低温的情况下选用不锈钢材料，高温的时候要采用钼等耐高温材料。加热室其他物品一般采用高强石墨，既要保障它耐高温、强度大又要保证材料价格便宜。

充放气系统主要包括：气瓶、充气管道、充气阀、放气阀等。充气阀的主要作用是：开关气路，控制气流大小，定量充气的作用。

水冷系统主要包括水流量计和水压表。其结构为冷壁式结构，即在双层炉壁之间要不间歇的循环通水来带走炉壁升温过程中产生的热量，防止炉壁升温过高。在进水口每一路都要有水流量计，确保能观察到每路水循环的状态。

控制系统一般主要包括：PLC、控温表、真空计配套规管、无纸记录仪、低压电器、工控机、模拟板等。PLC的作用就是控制传输我们所需要的各个动作的指令，是总控制中心。控温表主要是在升温和保温过程中来调节温度的大小，达到我们需要的温度。衡量一个真空炉最重要的一个标准就是真空度。真空规管就是测量真空度的传感器，真空计是显示和控制部分。真空规管将测量到的真空度值以电信号传给真空计，真空计把电信号转换成相应的真空度数字值，并显示出来。有的真空计还可以输出自动控制信号。真空规管又可分为电离规管和电阻规管。电离规管能准确测量出1pa以下的真空度大小；电阻规管能准确测量出1pa以上的真空度大小。

真空系统主要包括：机械泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵、真空阀和电磁压差阀等。机械泵分为旋片泵和滑阀泵为一级泵，可以单独使用。罗茨泵为二级泵，不可以单独使用，必须有前级泵。扩散泵和分子泵抽取的极限压强更小，可使所抽容器达到更高的真空度。泵抽速大小的选取一般根据所抽容积的大小和极限真空度。真空阀的主要作用是将真空炉内部与外界进行隔开或联通的装置，可以使泵停止工作期间真空炉内依然为真空状态。