真空炉常用的两大类真空仪表

真空炉常用真空仪表主要有两大类：一是真空测量仪表，也称真空计；二是真空系统供气流量仪表，也称气体流量计。

1．真空测量仪表

(1)静态变形真空计(也称弹性元件真空计) 利用与真空相连的容器表面受到大气的作用，以产生弹性变形来测量压强。

(2)静态液位真空计 利用u形管两端的液面差来测量压强。

(3)压缩式真空计 其原理是在U形管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用u形管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。

(4)热传导真空计利用低压下气体热传导与压力有关的原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。

(5)热辐射真空计利用低压下气体热辐射与压力有关的原理制成。

(6)电离真空计利用低压下气体分子被热粒子碰撞而电离，产生的离子流随压强而变化的原理制成，如热阴极电离真空汁、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。

(7)放电管指示器利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。

(8)其他真空计有振膜式真空计、磁悬浮转子真空计、场致显微仪、四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等。

2．真空系统供气流量仪表

(1)气体流量计 用真空炉进行渗碳、渗氮等化学热处理工艺时，需要向真空室内输入气体或液体渗剂，通常使用转子流量计检测与控制流量。

(2)真空针阀 真空微调阀用来调节进入真空室内的气体或液体介质的流量，阀体通常必须用不锈钢制造。