热压烧结炉的三个常见故障及其排除方法分析

热压烧结炉的三个常见故障及其排除方法：

　　1、冷却水故障

　　（1）烧结炉正常运行时，冷却水温度应控制在15℃至25℃之间。当冷却水温度超过25℃但低于30℃时，出水温度也会升高。为了确保硅片出口温度不超过40℃，此时必须增加冷却水的流量。当温度超过30℃时，必须立即通知上一工序，停止硅片流入烧结炉。

　　（2）如果烧结炉正常工作时没有冷却水，设备将自动停止并触发报警。此时，移除入口和出口传送带上的硅片，并在设备PC上下载冷却过程。当有冷却水时，启动设备，取出炉中的硅片。然后按照正常加热步骤升高温度以恢复生产。

　　（3）当烧结炉正常工作时，冷却水流量突然降低，设备将自动停止运行，并触发报警。此时，首先移除入口和出口传送带上的硅片，并在设备PC上下载冷却过程。

　　2、电源故障

　　烧结炉正常运行过程中突然停电，应立即打开电源控制柜，确认是外部停电还是内部停电。如果外部电源故障，应立即关闭主电源开关，并清除进出口传送带上的硅片。通电后，应从设备PC下载冷却过程，打开设备，取出炉内的硅片，然后按照正常启动加热步骤加热，恢复生产。

　　3、压缩空气（CDA）故障

　　当烧结炉正常工作时，压缩空气流量突然降低，设备将自动停止运行，并触发报警。此时，首先移除入口和出口传送带上的硅片，并在设备PC上下载冷却过程。可能的原因是流量计故障或入口压缩空气压力低。处理方法是更换流量计、减压阀或通知设备中心相关人员增加压缩空气压力。故障排除后，启动设备，取出炉内的硅片，然后按照正常加热步骤加热，恢复生产。