谈谈真空烧结炉是怎样操作的？

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。
真空烧结炉是怎样操作的？
　　1、中频电源、真空炉炉体、感应圈之冷却水源——蓄水池之水必须充满，水中不得有杂质。真空炉
　　2、开动水泵，使其中频电源，真空炉感应圈、炉体冷却系统水循环正常，并调整水压控制在规定值。
　　3、检查真空泵电源系统，皮带盘皮带松紧，真空泵油是否位于油封观察孔中线。检查妥后，人工转动真空泵皮带盘，如无异常，可在关闭蝶阀的情况下，启动真空泵。
　　4、检查真空炉体内情况，要求真空炉体内一级卫生，感应圈绝缘良好，密封真空胶带具有弹性，尺寸合格。
　　5、检查真空炉体的杠杆手把启动是否灵活。
　　6、检查转动式麦氏真空计是否合乎要求。
　　7、检查石墨坩埚，装炉配件是否齐全。
　　8、在以上准备就绪后，接通电源，中频电源合闸，按中频启动规则，试启动变频，成功后停止变频，方可开炉。
　　9、真空炉体上盖的观察、测温孔，每次开炉均需清洁处理，以便观察和测温。
　　10、装炉时应根据不同烧结产品，采取相应装炉方式。按有关材质装炉规则装盘，不得随意更改。
　　11、为了保持恒温，防止热辐射，发热坩埚上加二层碳纤维，再罩上隔热屏。
　　12、垫好真空密封胶带。
　　13、操作杠杆手把，转动真空炉顶盖与炉体密切重合，放下顶盖，并锁好固定螺母。
　　14、徐徐打开蝶阀，抽炉体空气，至真空度达到规定值。
　　15、在真空度达到规定要求后，开始启动变频，调整中频功率，按有关材质的烧结规定操作；升温、保温冷却。
　　16、烧结完毕后，停止变频，按停止变频开关，逆变停止工作，断开中频电源分闸与断开电源总闸。
　　17、从炉体观察孔观察炉膛发黑后，先关闭真空泵蝶阀与断开真空泵电流，再接自来水继续冷却感应圈和炉体，停水泵。
　　18、中频电压750伏有触电危险。在整个操作和检查过程中，要注意操作安全，不要用手接触中频电柜。
　　19、在烧结过程中，随时从炉体侧面观察孔观察感应圈是否发生放弧现象，如发现异常现象，应立即报告有关人员处理。
　　20、启动真空蝶阀应缓慢，否则会因抽气过急而冒油，带来不良后果。
　　21、正确使用转动式麦氏真空计，否则会造成真空读数误差或因操作过急而使水银溢出造成公害。
　　22、注意真空泵皮带盘安全运行。
　　23、在垫真空密封胶带，盖炉体顶盖时，注意防止压手。
　　24、凡在真空条件下，容易挥发影响真空卫生，造成管道堵塞、真空泵脏化的工件或容器，不得入炉。
　　25、凡产品加有成型剂(如油或石蜡)，必须脱掉方可入炉烧结，否则会造成不良后果。
　　26、全部烧结过程中，要注意水表压力范围和冷却水循环，以免发生事故。