第三代半导体材料之碳化硅 气氛炉

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江南平台app体育在线下载安装 由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成。

真空炉(www.dirtymaths.com)是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接

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