真空炉是一种加热设备，在真空环境中进行工作的，熟悉此设备的朋友知道它由主机、控温系统、密封炉壳、真空系统、电热装置、供电系统、炉膛和炉外运输车等组成，可用于陶瓷烧成，真空冶炼，陶瓷金属封接等领域。

真空炉按结构分可分为立式及卧式两种系列，立式系列又分为钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列又分单开门结构与前后双开门结构两种。炉体均采用水冷夹壁结构。

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。

氢气炉按结构可分为立式及卧式两种，其中立式又分为钟罩升降式与底部托盘升降式。炉体均采用水冷夹壁结构，外层为碳钢，内层为优质不锈钢。卧式系列为单开门结构、外加热方式。