真空炉按结构分可分为立式及卧式两种系列，立式系列又分为钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列又分单开门结构与前后双开门结构两种。炉体均采用水冷夹壁结构。

热压烧结炉具有工作温度高、真空度高、结合压力大、冷却条件好等优点，整个炉体除发热体和保温部分外，其余各部 位均可快速冷却，安全性能耗。

真空回火炉炉体与炉门均为双壁水冷结构，内外壁均采用碳素钢制造。炉体与炉门之间为双向密封结构，用锁紧圈锁紧，保证了真空炉在负压和正压气冷时的密封

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。